【48812】中科飞测-U获得承载盘及检测设备专利提高了晶圆的平面度

  金融界2023年12月28日音讯，据国家知识产权局公告，深圳中科飞测科技股份有限公司获得一项名为“一种承载盘及检测设备“，授权公告号CN220253219U，请求日期为2023年6月。

  专利摘要显现，本实用新型公开了一种承载盘及检测设备，包含盘体、主密封环和辅佐密封环。其间：盘体具有中部区域和围住中部区域的边际区域；主密封环设置在边际区域；辅佐密封环设置在中部区域，并将中部区域分隔为多个密封区域，多个密封区域均设置有凸点结构和真空吸附孔。使用时，因为晶圆存在翘曲，晶圆接近中心的方位首要接触到凸点结构，自中心至边际区域，晶圆与辅佐密封环的缝隙逐渐变大，当各个密封区域的真空吸附孔连通负压时，晶圆自中心至边际逐渐吸附平坦变形，并构成完好的密封，来提升了晶圆的平面度。

  证券之星估值剖析提示中科飞测盈余才能比较差，未来营收成长性较差。归纳基本面各维度看，股价偏高。更多

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